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真空镀膜机的维护保养及安全工作措施
点击次数:183 发布时间:2018-01-25
   真空镀膜机的维护保养及安全工作措施如下:
  1、设备接地必须可靠,并经常检查接地装置导电作用。
  2、扩散泵和油增压泵在加热情况下,切勿与大气接触,以免泵油氧化。
  3、定期检查和调整水流继电器,检查断水报警是否正常,保证设备冷却水供水畅通。
  4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水,泵停止工作,但泵内未冷却至80℃以下时,不得切断冷却水,以防止泵芯烧毁。
  5、镀膜工作前必须接通全部设备冷却水,以防止电极和基材烧毁。
  6、在拆装设备各零部件时,应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤,以保证设备密封性能可靠。
  7、设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封内腔均充以润滑油。使用一段时间就会损耗,必须以相同的润滑油充入。
  8、经常检查罗茨泵和滑阀泵的存油量,并定期予以补充。同时按其说明书的要求进行维护保养。
  9、定期检查各行程开关控制器,保证各工作部件处于正常工作状态。
  10、每天应对滑阀泵和气源进行排水。
  11、定期检查各减速器的储油量及油质。
  12、本机的主传动为同步皮带,要经常检查同步带的运转情况,如发现松紧不合适,应及时调整。
  13、机器不使用时,应清理好真空室,并将卷绕装置移到真空室里面,避免真空室、卷绕装置受到灰尘、水汽的污染。
  14、如果在正常工作时突然发生停电事故,必须立即关闭设备的全部阀门,同时保证扩散泵和增压泵的冷却用水能继续供给以防止泵被烧毁。